真空ろう付受託加工｜特殊溶接材料の総合メーカー

真空ろう付エンジニアリング

真空ろう付受託加工

真空ろう付や拡散接合の受託加工、真空チャンバー制作、自動ろう付機の設計製作を行っています。

真空機器部品

薄膜のろう付

材質
・薄膜：ベリリウム（Be）、チタン（Ti）等
・ボディ：ステンレス鋼（SUS304、SUS316L等）、コバール合金等
特徴
・従来の有機シール材（Oリング、接着材）を一切使用しないので、耐熱性が高く極低温に対する特性も良好です。
（使用温度：－270℃～450℃、最高使用温度：約600℃）
・耐熱性が高いので装置の高温ベーキングが可能です。
・ろう付と同時に脱ガス処理を行っているので、高真空用途でアウトガスがありません。また真空フランジに簡単に取り付けできます。

バルブ全体

Be窓有効寸法
（センター部）高さ15mm×幅100mm×厚さ0.4mm
（上部）高さ18mm×幅50mm×厚さ0.4mm
両端フランジ：ICF203
開口径：Φ140mm
フランジ面間距離：360mm
シート部材質：SUS304（Oリング、カルレッツ）
シール性能
〈ボディ〉1.3×10-11Pa・m3/s以下（Heリーク検査）
〈シート〉1.3×10-10Pa・m3/s以下（Heリーク検査）
納入実績：（財）高輝度光科学研究センター加速器部門殿

セラミックと金属のろう付

材質
〈セラミックス〉アルミナ（Al203）、窒化アルミ（AlN）、窒化珪素（Si3N4）炭化珪素（SiC）、窒化ホウ素（C-BN）等
〈金属〉コバール合金、42Fe-Ni合金、無酸素銅（OFC）、純Ni等

セラミック真空部品：Al203-Kovar

〈外型〉Φ40×80L（ナイス：1008-Tろう材使用）
〈Heリーク量〉1.0×10-9（Pa・m3/sec）以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験　約9.0kgf/mm2（セラミックス側で破断）

その他、ダイヤモンドと超硬、ダイヤモンドとステンレス鋼のろう付も可能です。

半導体製造装置部品

アルミのろう付

材質：アルミ（A1100、A6061等）
エッチャー用アルミ/アルミジャケット、A6061/A6061 カットモデルφ450㎜タイプ

〈外様〉Φ550（5枚をろう付）
〈Heリーク量〉1.0×10-9（Pa・m3/sec）以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験　A1100/A1100：約3.5kgf/mm²、A6061/A6061：約9.0kgf/mm²

ろう付はもちろん、製品完成（加工からろう付）までを一貫して行っております。

熱交換機器部品

アルミニウムとステンレス異材配管継ぎ手

材質：アルミ（A1100、A6061等）、ステンレス鋼（SUS304、SUS316L等）

A1100、A6061-SUS316L配管継ぎ手
(外様)Φ45mm×80L（内径：Φ35mm）
(Heリーク量)1.0×10-10（Pa・m3/sec）以下
(弊社強度試験データ)JIS Z3194-4号試験片

A1100/SUS304：約9.7kgf/mm2(Al母材破断)

A6061/SUS304：約9.2kgf/mm2(Al母材破断)

Al-SUSテストピース(接合部30mmL×25mmW×1.0mmT)試験片をクロスヘッドスピード0.5mm/minの速度で室温にて引張試験を行いました。

耐圧（静水圧）試験
〈負荷圧力：80Kgf/cm2〉
・7日間の加圧後も形状やHeリーク量に変化はありません
〈破壊圧力：240kgf/cm2（A1100/SUS316L継ぎ手）〉
・ろう付部で破壊する前にアルミ母材が変形します
・Al-SUS配管継ぎ手をAl-金属配管のジョイントパーツとして使用可能です（別途、溶接が必要です）

低温・熱サイクル試験
室温から-196℃（77K）までを20回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
（Al-SUS配管継ぎ手に液体窒素をSUS容器内で約2分間掛け冷却した後、室温になるまで放置しました。

この作業を20回繰り返した後、Heリーク試験を行いました）

高温・熱サイクル試験
室温から100℃までを10回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
（電気炉内を所定の温度に保ち、Al-SUS配管継ぎ手を投入し、1時間保持後、室温になるまで放置し、Heリーク試験を行いました。

この作業を10回繰り返しました。ワーク温度は接触式の表面温度計で測定を行いました）

その他

真空コンポーネントパーツ

Ti-Cu1020パルス管
膨張係数の大きく異なる銅とチタンをろう付しています。
〈Heリーク量〉1X10-10（Pa・m3/sec）以下

ルツボのカットモデルです。
〈Heリーク量〉1X10-10（Pa・m3/sec）以下

レーザー溶接

レーザー溶接の特徴
・肉厚が薄いものから厚いものまで溶接することが可能です。
・歪みが少ないため仕上がり部品を溶接することが可能です。
材質
・アルミ合金（A5052、A6061）
・純アルミニウム（A1050）
・ステンレス鋼（SUS304、SUS316L）
・銅合金・無酸素銅（C1020）
・熱間金型鋼（SKD各種）