本文へ移動
真空ろう付エンジニアリング
真空ろう付受託加工
真空ろう付や拡散接合の受託加工、真空チャンバー制作、自動ろう付機の設計製作を行っています。

真空機器部品

薄膜のろう付

  • 材質
    ・薄膜:ベリリウム(Be)、チタン(Ti)等
    ・ボディ:ステンレス鋼(SUS304、SUS316L等)、コバール合金等

  • 特徴
    ・従来の有機シール材(Oリング、接着材)を一切使用しないので、耐熱性が高く極低温に対する特性も良好です。
    (使用温度:-270℃~450℃、最高使用温度:約600℃)
    ・耐熱性が高いので装置の高温ベーキングが可能です。
    ・ろう付と同時に脱ガス処理を行っているので、高真空用途でアウトガスがありません。また真空フランジに簡単に取り付けできます。
バルブ全体
  • Be窓有効寸法
    (センター部)高さ15mm×幅100mm×厚さ0.4mm
    (上部)高さ18mm×幅50mm×厚さ0.4mm
  • 両端フランジ:ICF203
  • 開口径:Φ140mm
  • フランジ面間距離:360mm
  • シート部材質:SUS304(Oリング、カルレッツ)
  • シール性能
    〈ボディ〉1.3×10-11Pa・m3/s以下(Heリーク検査)
    〈シート〉1.3×10-10Pa・m3/s以下(Heリーク検査)
  • 納入実績:(財)高輝度光科学研究センター 加速器部門 殿

セラミックと金属のろう付

  • 材質
    〈セラミックス〉アルミナ(Al203)、窒化アルミ(AlN)、窒化珪素(Si3N4)炭化珪素(SiC)、窒化ホウ素(C-BN)等
    〈金属〉コバール合金、42Fe-Ni合金、無酸素銅(OFC)、純Ni等
セラミック真空部品:Al203-Kovar
〈外型〉Φ40×80L(ナイス:1008-Tろう材使用)
〈Heリーク量〉1.0×10-9(Pa・m3/sec)以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験 約9.0kgf/mm2(セラミックス側で破断)
その他、ダイヤモンドと超硬、ダイヤモンドとステンレス鋼のろう付も可能です。

半導体製造装置部品

アルミのろう付

材質:アルミ(A1100、A6061等)

エッチャー用アルミ/アルミジャケット、A6061/A6061 カットモデルφ450㎜タイプ
〈外様〉Φ550(5枚をろう付)
〈Heリーク量〉1.0×10-9(Pa・m3/sec)以下
〈弊社強度試験データ〉せん断引張試験 A1100/A1100:約3.5kgf/mm2、A6061/A6061:約9.0kgf/mm2
ろう付はもちろん、製品完成(加工からろう付)までを一貫して行っております。

熱交換機器部品

アルミニウムとステンレス異材配管継ぎ手

  • 材質:アルミ(A1100、A6061等)、ステンレス鋼(SUS304、SUS316L等)
A1100、A6061-SUS316L配管継ぎ手
(外様)Φ45mm×80L(内径:Φ35mm)
(Heリーク量)1.0×10-10(Pa・m3/sec)以下
(弊社強度試験データ)JIS Z3194-4号試験片
A1100/SUS304:約9.7kgf/mm2(Al母材破断)
A6061/SUS304:約9.2kgf/mm2(Al母材破断)
Al-SUSテストピース(接合部30mmL×25mmW×1.0mmT)試験片をクロスヘッドスピード0.5mm/minの速度で室温にて引張試験を行いました。

耐圧(静水圧)試験
〈負荷圧力:80Kgf/cm2〉
・7日間の加圧後も形状やHeリーク量に変化はありません
〈破壊圧力:240kgf/cm2(A1100/SUS316L継ぎ手)〉
・ろう付部で破壊する前にアルミ母材が変形します
・Al-SUS配管継ぎ手をAl-金属配管のジョイントパーツとして使用可能です(別途、溶接が必要です)
  • 低温・熱サイクル試験
    室温から-196℃(77K)までを20回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
    (Al-SUS配管継ぎ手に液体窒素をSUS容器内で約2分間掛け冷却した後、室温になるまで放置しました。
      この作業を20回繰り返した後、Heリーク試験を行いました)


  • 高温・熱サイクル試験
    室温から100℃までを10回繰り返した後も形状やHeリーク量に変化はありません。
    (電気炉内を所定の温度に保ち、Al-SUS配管継ぎ手を投入し、1時間保持後、室温になるまで放置し、Heリーク試験を行いました。
      この作業を10回繰り返しました。ワーク温度は接触式の表面温度計で測定を行いました)

その他

真空コンポーネントパーツ

Ti-Cu1020パルス管
膨張係数の大きく異なる銅とチタンをろう付しています。
〈Heリーク量〉1X10-10(Pa・m3/sec)以下
ルツボのカットモデルです。
〈Heリーク量〉1X10-10(Pa・m3/sec)以下

レーザー溶接

  • レーザー溶接の特徴
    ・肉厚が薄いものから厚いものまで溶接することが可能です。
    ・歪みが少ないため仕上がり部品を溶接することが可能です。

  • 材質
    ・アルミ合金(A5052、A6061)
    ・純アルミニウム(A1050)
    ・ステンレス鋼(SUS304、SUS316L)
    ・銅合金・無酸素銅(C1020)
    ・熱間金型鋼(SKD各種)

アルミ合金(A6061)の真空チャンバー製作

非常に小さなビートで漏れのないチャンバーが製作できます。

〈Heリーク量〉1.3×10-10Pa・m3/sec以下
薄板(0.3t)の溶接が可能です。
内径φ70×0.5t 外形φ144×4t φ5.8×1t

金型の補修

金型等の微細肉盛り補修が可能です。〈SKD用補修材使用〉
溶接入熱が少ないため割れ、歪み等の問題がほとんどありません。
  • 継ぎ手強度(弊社強度試験データ)
    (JIS Z3121 突き合わせ溶接継ぎ手 3A号試験片使用、溶接部の開先:X、板厚2t)
母材:A
母材:B
引張り強さ(kg/mm2
母材(kg/mm2
A5020
A5052
14.9
20(O材)
C1020
C1020
11.6
22
SUS304
SUS304
53.8
60

レーザー溶接装置

超音波検査装置

ろう面の状態を確認します。
真空ろう付の工法開発・試作・製作・コンサルティング等お任せ下さい!

お問い合わせ

お近くの事業所までお気軽にお尋ねください。

ナイス株式会社 真空ろう付エンジニアリング

 06(6488)7703
06(6488)9634
shinku@neis-co.com

お近くの事業所

東京営業所
047(703)7552
tokyo@neis-co.com
千葉工務所
0438(97)7135
chiba@neis-co.com
東海営業所
053(464)7101
tokai@neis-co.com
名古屋工務所
 0584(67)3321
nagoya@neis-co.com
大阪営業所
06(6488)4400
osaka@neis-co.com
機器・溶接エンジニアリング
 06(6482)6701
kikiyousetsu@neis-co.com
和歌山工務所
073(499)7555
wakayama@neis-co.com
倉敷工務所
086(526)5875
kurashiki@neis-co.com
広島営業所
082(554)0377
hiroshima@neis-co.com
九州工務所
 0949(29)8000
kyusyu@neis-co.com